1、開爐準備

1.1檢查各電接頭是否緊固，各組成部分是否清潔、正常。

1.2打開水冷系統總開關及各分開關，保證水壓0.1～0.3MPa。

1.3打開壓縮空氣開關。

1.4打開充氣系統總開關。（如工藝不需要，可不開）。

1.5電源總開關合閘。

1.6將電控箱上的各路開關合閘。

1.7調節控制儀表，使其符合真空釬焊工藝要求。

1.8油擴散泵加熱：當擴散泵為真空狀態時，打開維持閥，啟動維持泵，對擴散泵抽真空延時，對油擴散泵提前加熱。

2、開爐步驟

2.1打開爐門，將工件送入爐內，然后關閉爐蓋。

2.2打開旁路閥，啟動滑閥泵，對爐子抽真空。

2.3當爐內真空度≤670 Pa時，注意觀察羅茨泵軸基本不轉，啟動羅茨泵。

2.4當爐內真空度達到10 Pa時，且擴散泵加熱到溫（約90～120分鐘），關旁路閥，關維持閥，停維持泵。打開主路閥，打開擴散泵上的高真空閥。由擴散泵對爐體抽真空。

2.5當爐內真空度達到工藝規定值時，即可通電加熱，爐子開始升溫、保溫（按設定的工藝曲線程控進行）。

2.6釬焊加熱工藝結束后爐子斷電停止加熱。

2.7關閉高真空閥。停擴散泵加熱并加強泵體的冷卻。

2.8停羅茨泵，打開維持閥，啟動維持泵。延時關主路閥，?；y泵。

2.9加強爐體冷卻（此項按需要）。

2.10當爐內溫度降至可出爐溫度時（由釬焊工藝定）做出爐準備（或按工藝要求提前充入高純氮氣，加速降溫）。

2.11打開爐體放氣閥，使爐內壓強恢復至大氣壓力，關閉爐體放氣閥。

2.12打開爐門取出工件。

3停爐

3.1關閉充氣系統總開關。

3.2當油擴散泵油溫低于50℃時，關維持閥，停維持泵。此時應打開旁路閥，啟動滑閥泵，使爐內保持在1×10-1Pa（真空計顯示值）的真空狀態，再關旁路閥，?；y泵。

3.3關閉壓縮空氣開關。

3.4關閉水冷系統總開關。

3.5斷開電源總開關。